陈宁皱了皱眉头,作为这个研究小组的负责人,他最近也是在加班加点,可进度并不遂人愿。
“陈总,还不是特别顺利。”
“当初我们学的是用193nm的arf准分子激光的第四代光刻机,所以在光源理论上面比较生疏。”
“而且从德国订购的实验仪器,他们卖给我们的也不是最先进的。”
“还有存储环,我们国内也很不理想……”
陈尘对此表示理解,叹了口气道:“这很正常。”
“要追赶上国际水平很不容易,况且我们这次还是弯道超车。”
“不过仪器和存储环,我们的朋友会在月底给你们。”
陈尘口中的朋友自然是魔都微电的徐丛,这些家伙什没有一定的关系以及实力,一般人还真搞不定。
“阿斯麦尔公司用的是高能激光轰击液态锡靶,形成等离子体后产生波长13.5nm的euv光源,未来随着�
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