为了这一个光刻机的光源系统，陈阳以及龙科院的众人可没少花心思。
为了能够更好的滤除其他波长的光，先是研究了一种全新的材料，这种材料是一种掺杂各类化合物的玻璃，这种玻璃一来是可以吸收除了特定波长以外的光。还能将当中的四散的13.5nm的光汇聚在一起。
这种玻璃制备的透镜相比于EUV多层膜反射镜对于制备和加工的工艺要求更低，而且不会因为等离子的体的冲击产生碎屑，从而导致汇聚光源出问题。
为了这一个材料，陈阳和龙科院的诸多科学家根据阳神AI研究的数百种可能的材料，从中进行不断筛选，随后为了这一个材料的制造，也没少耗费心血。
毕竟需要将那些化合物以特定的方式掺杂到当中，这跟制造半导体差不多，但是半导体的材料参数和基底跟这一个是完全不同的，因此只能不断进行调整，进�
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